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低壓放電法檢漏儀的原理及應(yīng)用領(lǐng)域
更新時(shí)間：2025-05-19
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低壓放電法檢漏儀是一種基于氣體放電特性檢測(cè)泄漏的設(shè)備，其核心原理是通過(guò)監(jiān)測(cè)低氣壓環(huán)境下氣體放電現(xiàn)象的變化來(lái)判斷被測(cè)系統(tǒng)的密封性。具體原理可分為以下步驟：
1、氣體電離與放電：在密閉腔體中施加高壓電場(chǎng)，當(dāng)氣壓降低到一定范圍時(shí)，殘余氣體分子被電離產(chǎn)生輝光放電或電暈放電，形成可測(cè)量的電流或光信號(hào)。
2、泄漏氣體干擾：若被測(cè)系統(tǒng)存在泄漏，外部氣體會(huì)滲入腔體，改變內(nèi)部氣體的成分或壓力，導(dǎo)致放電特性(如擊穿電壓、放電電流強(qiáng)度或光譜特征)發(fā)生顯著變化。
3、信號(hào)分析與定位：通過(guò)傳感器捕獲放電參數(shù)的異常變化(如電壓波動(dòng)、電流突增或特定波長(zhǎng)光強(qiáng)變化)，結(jié)合電路或算法處理，確定泄漏位置及程度。
低壓放電法檢漏儀主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
1、真空設(shè)備檢測(cè)：用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜等行業(yè)的腔體、管道密封性檢測(cè)，確保高真空環(huán)境穩(wěn)定性。
2、制冷系統(tǒng)檢漏：檢測(cè)空調(diào)、冰箱等制冷劑循環(huán)系統(tǒng)中的微小泄漏，避免冷媒流失導(dǎo)致效率下降。
3、封閉容器質(zhì)檢：在醫(yī)療、化工領(lǐng)域檢查氣罐、密封容器是否存在缺陷，保障存儲(chǔ)安全性。
4、科研實(shí)驗(yàn)監(jiān)測(cè)：應(yīng)用于高能物理、航天模擬等精密實(shí)驗(yàn)裝置，防止環(huán)境氣體干擾實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
該方法優(yōu)點(diǎn)在于靈敏度高(可檢測(cè)至10?? Pa·m³/s量級(jí))、響應(yīng)速度快，但對(duì)氣體種類選擇性較差，且需在低氣壓環(huán)境下操作，適用場(chǎng)景受一定限制。
